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半导体行业用螺杆式真空泵

在半导体制造领域，螺杆真空泵的性能直接影响芯片制程的稳定性与良品率。从晶圆清洗、薄膜沉积到离子注入，每一个环节都对真空度、设备可靠性和运行噪音有着严苛要求。今天就为半导体企业带来专属选型推荐 —— 北岳螺杆真空泵，凭借高真空度、高可靠性、低噪音三大核心优势，成为众多半导体工厂的装机首选。

品牌：北岳
功率：10-75
排气量：100-600/H

产品详情

在半导体制造领域，螺杆真空泵的性能直接影响芯片制程的稳定性与良品率。从晶圆清洗、薄膜沉积到离子注入，每一个环节都对真空度、设备可靠性和运行噪音有着严苛要求。今天就为半导体企业带来专属选型推荐 —— 北岳螺杆真空泵，凭借高真空度、高可靠性、低噪音三大核心优势，成为众多半导体工厂的装机首选。
精准匹配半导体制程：北岳螺杆真空泵的选型逻辑
半导体不同制程对真空系统的需求差异显著，北岳针对行业特性，打造了覆盖低、中、高真空区间的全系列机型，精准适配不同工艺场景：
晶圆清洗 / 封装环节：推荐北岳 BY-200 系列。该机型极限真空度可达 5×10⁻³Pa，能快速抽除清洗后残留的水汽与化学气体，避免晶圆表面氧化或污染。
薄膜沉积 / 溅射环节：优先选择北岳 BY-500 系列。其抽速稳定在 500m³/h，配合超高真空度（≤1×10⁻⁴Pa），可确保沉积薄膜的均匀性与纯度，满足精密电路制造需求。
大型中央真空系统：适配北岳 BY-1000 系列。多机组联动设计，既能保证单台设备极限真空度，又能通过变频调控满足整条生产线的动态用气需求，节能且高效。
三大核心优势，直击半导体行业痛点
1. 超高真空度：满足精密制程的 “极致要求”
半导体制程中，真空度不足会导致气体杂质混入，直接影响芯片性能。北岳螺杆真空泵采用专利锥形螺杆设计，转子间间隙控制在 5μm 以内，配合高精度密封结构，单级极限真空度可低至 1×10⁻⁴Pa，远超行业平均水平。
在某 12 英寸晶圆厂的实际测试中，北岳 BY-500 系列在薄膜沉积工序中，持续保持 1×10⁻⁴Pa 的高真空环境，使薄膜厚度偏差控制在 ±2% 以内，良品率较使用其他品牌设备提升 3.2 个百分点。
2. 军工级质量：24 小时连续运行无压力
半导体工厂多为 24 小时不间断生产，真空泵的可靠性直接决定产能。北岳从核心部件到整机组装，都遵循严格的质量管控标准：
螺杆主机采用进口钛合金材质，经过 12 道精密加工工序，耐磨损、抗腐蚀，适配半导体行业常见的腐蚀性工艺气体。
关键电气元件选用国际知名品牌，配合自主研发的智能监控系统，可实时监测温度、压力等参数，提前预警潜在故障。
据第三方检测数据显示，北岳螺杆真空泵平均无故障运行时间（MTBF）超过 20000 小时，远高于行业 15000 小时的平均水平，减少停机维护对生产的影响。
3. 超低噪音：打造安静的生产环境
半导体车间对噪音控制要求极高，过大的设备噪音不仅影响操作人员健康，还可能干扰精密仪器的运行。北岳通过三重降噪设计，将设备运行噪音控制在 65dB 以下：
采用低振动电机，配合减震底座，减少机械振动产生的噪音。
优化进气口流道设计，降低气流冲击噪音。
整机加装隔音罩，进一步隔绝噪音传播。
在实际应用中，即使多台北岳真空泵同时运行，车间内噪音仍能保持在 70dB 以内，相当于日常对话的音量，为工人营造了更舒适的作业环境。
半导体企业的共同选择：北岳服务更贴心
除了设备本身的硬实力，北岳还为半导体企业提供全流程服务支持：
售前：专业技术团队上门勘察，根据生产规模、制程需求，定制专属选型方案，避免 “大马拉小车” 或 “小马拉大车” 的浪费。
售中：提供免费安装调试，配合工厂完成设备与制程的适配测试，确保开机即达标。
售后：在全国多地设立服务网点，半导体行业客户可享受 2 小时响应、24 小时上门维修的专属服务，同时提供原厂配件供应，保障设备长期稳定运行。
对于半导体企业来说，选择一台合适的螺杆真空泵，就是选择了稳定的产能与可靠的品质。北岳螺杆真空泵以高真空度、高可靠性、低噪音的核心优势，以及贴心的定制化服务，成为半导体行业选型的优选。如果你的工厂正在寻找适配的螺杆真空泵，不妨试试北岳 —— 用实力助力芯片制造更高效、更稳定！

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